抄訳
周波数領域サーモリフレクタンス（FDTR）法は，材料の熱物性を非破壊かつマイクロスケールの空間分解能で評価できる光学的計測手法である．本手法では，周波数変調したポンプレーザーによって試料表面に周期的な温度変化を与え，プローブレーザーを用いてその局所的な熱応答を検出する．得られた信号を熱輸送モデルに基づいて解析することで，試料の熱伝導率などの熱物性を評価できる．本論文では，FDTR法の実装方法や局所熱伝導率測定の具体的な手順を体系的に解説するとともに，レーザー条件が測定結果に与える影響や誤差要因，不確かさの評価について詳述する．さらに，具体例として単結晶シリコン基板間の界面近傍を対象とした熱伝導率イメージングを行い，界面が局所的な熱輸送特性に影響を与える様子を可視化する．FDTR法は，熱電材料などにおける界面熱抵抗の理解や，材料・デバイス設計の高度化に貢献するものである．